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所謂準分子激光，是指受激二聚體所產生的激光。之所以產生稱為準分子，是因為它不是穩定的分子，是在激光混合氣體受到外來能量的激發所引起的一系列物理及化學反應中曾經形成但轉瞬即逝的分子，其壽命僅為幾十毫微秒。
準分激光是一種氣體脈沖激光，所產生的是波長為193nm的準分子激光，它是一種超紫外線光波，此波長的激光吸收范圍窄，每一個激光脈沖可以切削0.2到0.25um厚度的生物組織。
準分子激光與生物組織作用時發生的不是熱效應，而是光化反應，所謂光化反應，是指組織受到遠紫外光激光作用時，會斷裂分子之間的結合鍵，將組織直接分離成揮發性的碎片而消散無蹤它的波長短，不會穿透人的眼角膜。
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